[发明专利]非真空制作铜铟镓硒和/或硫光吸收层的方法无效
申请号: | 201010111495.7 | 申请日: | 2010-02-11 |
公开(公告)号: | CN101820030A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 林群福;陈文仁;杨益郎 | 申请(专利权)人: | 昆山正富机械工业有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 215332 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种铜铟镓硒和/或硫光吸收层的制作方法,特别是一种非真空制作铜铟镓硒和/或硫光吸收层的方法,包括:(1)依据配方比例,混合含IB、IIIA的二成份或三成份硒化物材料,形成原始混合粉末;混合粉末为纳米级的球形粉和薄片形粉;(2)添加溶剂搅拌,形成浆料;(3)将该浆料涂布在钼层上,软烤形成光吸收前驱层;(4)将含铜铟镓硒和/或硫前驱层的基板反置于含均匀洒布VI族元素的耐高温载板上,在快速退火热处理炉中退火长晶,形成光吸收层。避免使用危险的硒化氢;设备成本低;所形成的光吸收层致密,光吸收特性好,光电转换效率高。 | ||
搜索关键词: | 真空 制作 铜铟镓硒 光吸收 方法 | ||
【主权项】:
一种非真空制作铜铟镓硒和/或硫光吸收层的方法,其特征在于包括:(1)依据配方比例,混合含IB、IIIA的二成份或三成份硒化物材料,以形成原始混合粉末,且该IB族元素包括铜,该IIIA族元素包括铟或镓或铟镓混合材料;(2)添加溶剂至该最后混合粉末中并进行搅拌,形成含有IB、IIIA及VIA族元素的铜铟镓硒浆料;(3)将该浆料涂布在钼层上,软烤使溶剂挥发形成光吸收前驱层;(4)再将含铜铟镓硒和/或硫前驱层的基板反置于含均匀洒布VI族元素的耐高温载板上,一起在快速退火热处理炉中退火长晶,以形成含铜铟镓硒和/或硫的光吸收层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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