[发明专利]一种利用偶氮聚合物制作光波导的方法

摘要

本发明涉及一种利用偶氮聚合物制作光波导的方法，属于光学器件制备技术领域。首先对衬底进行清洗；将环氧树脂预聚物、异氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第一混合溶液，并将其旋涂在上述清洗的衬底上，得到下包层；将偶氮聚合物、异氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第二混合溶液，并将其旋涂在下包层上，得到芯层；将掩模放置在芯层上，用激光照射形成光波导；在光波导上用固化胶涂覆上包层。本发明方法制备工艺简单，质量容易控制，产品成本低。

主权项

1.一种用偶氮聚合物制作光波导的方法，其特征在于该方法包括以下步骤：(1)对衬底进行清洗；(2)将环氧树脂预聚物、异氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第一混合溶液，混合的质量比为：环氧树脂预聚物∶异氰酸酯∶N，N-二甲基甲酰胺＝1∶0.3-0.9∶3-9，将第一混合溶液旋涂在上述清洗的衬底上，并在60-180℃温度下烘干6-12小时，得到厚度为1.0-5.0微米的下包层，其中所述的环氧树脂预聚物的分子结构式为：(3)将偶氮聚合物、异氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第二混合溶液，混合的质量比为：偶氮聚合物∶异氰酸酯∶N，N-二甲基甲酰胺＝1∶0.1-0.5∶8-16，将第二混合溶液旋涂在上述下包层上，并在60-140温度下烘干8-12小时，得到厚度为0.4-1.5微米的芯层，其中所述的偶氮聚合物的分子结构式为以下结构式中的任意一种：其中“R”结构为下面三种基团中的任何一种：其中重复单元数x为20-300；其中n为2-14；(4)将具有所需波导形状的掩模放置在上述芯层上，用可见激光照射5-60分钟，激光波长为457纳米、488纳米、514纳米或532纳米中的任何一种，激光强度为：50-200毫瓦/平方厘米，形成光波导；(5)在上述光波导上用固化胶涂覆上包层，固化并烘干，上包层的厚度为3.0-7.0微米。