[发明专利]微机械装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201010103994.1 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101786591A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C99/00;G01P15/097 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械装置，其包括：具有一些限界面(A)的活动元件(2)；和具有一些限界面(B)的止挡(4)，该止挡限制所述活动元件(2)的运动。在此，所述活动元件(2)由至少一个第一层(2a)和一个第二层(2b)组成，所述第一层(2a)和第二层(2b)这样地布置，使得它们分割至少一个限界面(A)，至少一个仅仅设置在所述第一层(2a)中的横销(3)从所述限界面(A)中伸出，所述横销(3)用于限制所述活动元件(2)的运动。替代地或附加地，所述止挡(4)类似于所述活动元件(2)地构造。最后也涉及一种用于制造按本发明的微机械装置(1)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械装置(1)，包括：具有一些限界面(A)的活动元件(2)，和具有一些限界面(B)的止挡(4)，所述止挡限制所述活动元件(2)的运动，其中a)所述活动元件(2)由至少一个第一层(2a)和一个第二层(2b)组成，所述第一层(2a)和第二层(2b)这样地布置，使得它们分割至少一个限界面(A)，至少一个仅仅设置在所述第一层(2a)中的横销(3)从所述限界面(A)中伸出，所述横销(3)用于限制所述活动元件(2)的运动，和/或b)所述止挡(4)由至少一个第一层(4a)和一个第二层(4b)组成，所述第一层(4a)和第二层(4b)这样地布置，使得它们分割至少一个限界面(B)，至少一个仅仅设置在所述第一层(4a)中的横销(5)从所述限界面(B)中伸出，所述横销(5)用于限制所述活动元件(2)的运动。
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