[发明专利]用于加工长的连续的柔性基片的装置和方法

摘要

描述了一种装置和方法，所述装置和方法使在分离的多段柔性基片材料上的薄膜的精确对准且分辨率高的图案形成，该柔性基片材料从一个鼓展开并在加工后重绕在另一个鼓上。分离的多段基片被夹紧到卡盘上，所述卡盘沿平行于所述基片的长度的方向移动。提供了用于调节所述卡盘的上游和下游的基片的长度变化的调节单元。当夹紧到卡盘时，加工头横跨基片的宽度移动，并且通过使用减少过程和增加过程之一或两者的激光烧蚀、激光照射或喷墨印刷中的一种或其结合来形成图案。

主权项

一种用于在分离的确定长度内加工长的连续的多段柔性基片以通过直接写入在所述基片上形成具有高水平位置精度的高分辨率的二维图案的装置，所述装置包括：a.分配单元，所述分配单元用于沿第一方向周期性地分配来自展开鼓的确定长度的所述柔性基片，同时保持所述基片内沿所述第一方向的恒定张力；b.卡盘，分离的确定长度的所述基片周期性地夹紧在所述卡盘上以进行加工；c.第一调节单元，所述第一调节单元用于调节沿所述第一方向的长度变化并保持所述卡盘上游的所述基片内沿所述第一方向的恒定张力；d.第一机械装置，所述第一机械装置用于在分离的某一长度的基片的整个长度上一次或多次沿第一方向来回地精确移动所述卡盘和所连接的所述分离的某一长度的基片；e.安装在所述卡盘上方的加工单元，所述加工单元用于通过直接写入过程在所述确定长度的所述基片上形成高分辨率的二维图案；f.第二机械装置，所述第二机械装置用于在所述基片的所述整个宽度上沿垂直于所述第一方向的第二方向一次或多次来回地精确移动所述加工单元；g.第二调节单元，所述第二调节单元用于调节长度变化并保持所述卡盘下游的所述确定长度的基片内沿所述第一方向的恒定张力；h.重绕单元，所述重绕单元用于在加工之后沿所述第一方向将确定长度的所述柔性基片周期性地重绕在重绕鼓上，同时保持所述基片内沿所述第一方向的恒定张力；以及i.控制系统，所述控制系统被设置成控制：i.分离的确定长度的所述基片周期性地夹紧到所述卡盘以进行加工 以及当所述展开鼓和所述重绕鼓静止时所述卡盘沿所述第一方向的移动；ii.所述卡盘和所述加工单元的移动，借助所述卡盘和所述加工单元二者的同步的连续运动，或者借助所述卡盘和所述加工单元中的一个沿一个方向的一系列连续运动结合所述卡盘和所述加工单元中的另一个沿另一方向的一系列间歇运动；iii.所述加工单元的操作；iv.所述分离的确定长度的基片从所述卡盘的周期性的松开以及所述展开鼓和所述重绕鼓的操作，以将所述确定长度的基片重绕到所述重绕鼓上并从所述分配鼓展开另一分离的确定长度的基片。