[发明专利]微机械系统以及用于制造微机械系统的方法有效
| 申请号： | 200980158539.7 | 申请日： | 2009-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102378733A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | R.福克;D.沙伊布纳;A.沙波林 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01H11/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 宣力伟;杨国治 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有有振动能力的系统的微机械系统（1），所述有振动能力的系统具有激振质量（2）以及至少两个弹簧元件（3），其中所述弹簧元件（3）分别一方面在外面连接到所述激振质量（2）上并且另一方面连接到所述微机械系统（1）的固定的锚定点（4）上，从而能够实现所述激振质量（2）的沿运动方向（B）的振动。为了获得所述有振动能力的系统的有效模式与其它振动模式之间的特别大的频率间隔，按本发明规定，在所述激振质量（2）的内部区域中额外地设置了至少一个另外的弹簧元件（7、7a、7b、7c、7d、7e），借助于所述另外的弹簧元件将所述激振质量（2）连接到所述微机械系统（1）的另外的锚定点（8）上。此外，本发明涉及一种用于制造具有有振动能力的系统的微机械系统（1）的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械系统（1），其具有有振动能力的系统，所述有振动能力的系统具有激振质量（2）以及至少两个弹簧元件（3），其中所述弹簧元件（3）分别一方面在外面连接到所述激振质量（2）上，并且另一方面连接到所述微机械系统（1）的固定的锚定点（4）上，从而能够实现所述激振质量（2）的沿运动方向（B）的振动，其特征在于，在所述激振质量（2）的内部区域中设置了至少一个另外的弹簧元件（7、7a、7b、7c、7d、7e），借助于所述至少一个另外的弹簧元件将所述激振质量（2）连接到所述微机械系统（1）的另外的锚定点（8）上。
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