[发明专利]在蚀刻的全色阵列中镶嵌的彩色像素无效
| 申请号： | 200980151570.8 | 申请日： | 2009-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102246301A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | J·R·萨马;C·派克斯;J·P·麦卡特恩 | 申请（专利权）人： | 美商豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种图像传感器包含具有多个光敏元件的衬底(120)。透明无机层(111)位于该衬底上，且多个开口(130)形成在该透明无机层中。彩色滤光器阵列(114)具有由该透明无机层形成的多个全色滤光器元件(115)，且多个彩色滤光器元件是位于开口中。全色滤光器元件及彩色滤光器元件各自包含基本上与透明无机层的顶面齐平的顶面。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 全色 阵列 镶嵌 彩色 像素 | ||
【主权项】：
一种图像传感器，其包括：衬底；位于所述衬底中的光敏元件像素阵列；位于所述衬底上的一个或多个透明无机层；形成在所述一个或多个透明无机层中的多个开口；及彩色滤光器阵列，包含位于所述开口中的多个彩色滤光器元件，及由位于所述开口之间的所述一个或多个透明无机层形成的多个全色滤光器元件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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