[发明专利]用于溅射靶制造的圆形凹槽挤压机构和方法无效
| 申请号： | 200980149256.6 | 申请日： | 2009-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN102245795A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 尤金.Y.伊万诺夫;埃里克.西多;戴维.B.斯马瑟斯 | 申请（专利权）人： | 东曹SMD有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21D17/02;B21D13/02;B21D22/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种利用圆形凹槽挤压制造金属靶坯件(1)的方法，包括在第一圆形凹槽挤压模具组(20A，20B)中将金属或金属合金靶坯件(1)挤压为第一同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以在所述靶坯件(1)中产生剪切变形的同心环。然后，通过平的模具组(30A，30B)向所述同心褶皱靶坯件(1)施加足够的力以大致变平所述靶坯件，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以将所述靶坯件(1)恢复为大致平的状态。在第二圆形凹槽模具组(40A，40B)中挤压所述靶坯件(1)为第二同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径，其中，所述第二模具组(40A，40B)具有从所述第一模具组(20A，20B)的凹槽图案偏置的凹槽图案，从而在所述靶坯件的之前未变形的区域中产生剪切变形的同心环。通过平的模具组(30A，30B)再次向所述同心褶皱靶坯件(1)施加足够的力以大致变平所述靶坯件(1)，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 制造 圆形 凹槽 挤压 机构 方法 | ||
【主权项】：
一种利用圆形凹槽挤压制造金属靶坯件的方法，包括如下步骤：a.在第一圆形凹槽挤压模具组中将金属或金属合金靶坯件挤压为第一同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径以在所述靶坯件中产生剪切变形的同心环；b.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态；c.在第二圆形凹槽模具组中挤压所述靶坯件为第二同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径，其中，所述第二模具组具有从所述第一模具组的凹槽图案偏置的凹槽图案，从而在所述靶坯件的在步骤a)中未变形的区域中产生剪切变形的同心环；和d.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东曹SMD有限公司，未经东曹SMD有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980149256.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
