[发明专利]用于溅射靶制造的圆形凹槽挤压机构和方法

权利要求书

1.一种利用圆形凹槽挤压制造金属靶坯件的方法，包括如下步骤：

a.在第一圆形凹槽挤压模具组中将金属或金属合金靶坯件挤压为第一同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径以在所述靶坯件中产生剪切变形的同心环；

b.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态；

c.在第二圆形凹槽模具组中挤压所述靶坯件为第二同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径，其中，所述第二模具组具有从所述第一模具组的凹槽图案偏置的凹槽图案，从而在所述靶坯件的在步骤a)中未变形的区域中产生剪切变形的同心环；和

d.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二凹槽模具组具有形成于其中的同心凹槽，用于使所述靶坯件产生圆形褶皱，所述凹槽的尺寸大致与所述第一模具组中的凹槽的尺寸相同，但是偏置了一个周期。

3.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括重复步骤a)、b)、c)和d)。

4.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括在步骤a)-d)的一个或多个之后退火所述靶坯件的步骤。

5.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括在步骤a)-d)的一个或多个之前加热所述靶坯件的步骤。

6.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括在步骤a)-d)的一个或多个之前冷却所述靶坯件的步骤。

7.用于制造溅射靶坯件的圆形凹槽挤压机构，所述圆形凹槽挤压机构包括：

a.具有凹槽的第一凹槽模具组，用于使所述靶坯件形成圆形褶皱；

b.第二凹槽模具组，用于在所述第一模具组中未变形的区域中使所述靶坯件形成褶皱，该第二凹槽模具组具有与所述第一模具组中的凹槽尺寸相同的凹槽尺寸；和

c.用于变平所述靶坯件的模具组。

8.如权利要求7所述的圆形凹槽挤压机构，其中，所述第二凹槽模具组具有形成于其中的同心凹槽，用于使所述靶坯件形成圆形褶皱，其凹槽的尺寸大致与所述第一模具组中的凹槽尺寸相同，但是偏置了一个周期。