[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 200980147987.7 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102227286A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 中野诚;井上卓 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/00;B23K26/06;G02F1/061;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够抑制聚光于加工对象物的内部的激光的像差的激光加工装置。激光加工装置(200)具备射出激光(L)的激光光源(202)、以及对由激光光源(202)所射出的激光(L)进行调制的反射型空间光调制器(203)；在激光(L)的光路上的激光光源(202)和反射型空间光调制器(203)之间，配置有反射激光(L)的第1镜(205a、205b)，第1镜(205a、205b)被构成为能够调整激光(L)的反射方向。因此，在激光加工装置(200)中，分别利用镜(205a、205b)调整激光(L)的反射方向，从而可以将入射于反射型空间光调制器(203)的激光(L)的位置以及入射角度调整成所期望的。因此，能够使激光高精度地入射于反射型空间光调制器(203)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于，是通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而在所述加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：激光光源，射出所述激光；以及反射型空间光调制器，对由所述激光光源所射出的所述激光进行调制，在所述激光的光路上的所述激光光源和所述反射型空间光调制器之间，配置有反射所述激光的至少2个第1镜，所述第1镜被构成为能够调整所述激光的反射方向。
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