[发明专利]激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在加工对象物中形成改质区域的激光加工装置。

背景技术

作为以往的激光加工装置，已知有通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光从而在加工对象物中形成改质区域的装置(例如参照专利文献1、2)。在这样的激光加工装置中，试图用反射型空间光调制器对由激光光源所射出的激光进行调制。

专利文献1：国际公开第2005/106564号小册子

专利文献2：日本特开2006-68762号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在此，在上述那样的激光加工装置中，例如由于激光光源以及反射型空间光调制器的个体差异等，可能无法使激光高精度地入射于反射型空间光调制器，从而聚光于加工对象物的内部的激光的像差可能会增大。

因此，本发明的课题是为了提供一种能够抑制聚光于加工对象物的内部的激光的像差的激光加工装置。

解决课题的技术手段

为了解决上述课题，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，是通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而在加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：射出激光的激光光源、以及对由激光光源所射出的激光进行调制的反射型空间光调制器，在激光的光路上的激光光源和反射型空间光调制器之间配置有反射激光的至少2个第1镜，第1镜被构成为可以调整激光的反射方向。

在该激光加工装置中，分别利用至少2个第1镜调整激光的反射方向，从而能够将入射于反射型空间光调制器的激光的位置以及入射角度调整为所期望的。因此，可以使激光高精度地入射于反射型空间光调制器。其结果，可以使反射型空间光调制器适当地发挥作用，并可以抑制聚光于加工对象物的内部的激光的像差。

此外，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，是通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而在加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：射出激光的激光光源、对由激光光源所射出的激光进行调制的反射型空间光调制器、以及调整由反射型空间光调制器调制后的激光的波阵面形状的调整光学系统，在激光的光路上的反射型空间光调制器和调整光学系统之间配置有反射激光的至少2个第2镜，第2镜被构成为可以调整激光的反射方向。

在该激光加工装置中，分别利用至少2个第2镜调整激光的反射方向，从而能够将入射于调整光学系统的激光的位置以及入射角度调整为所期望的。因此，可以使激光高精度地入射于调整光学系统。其结果，可以使调整光学系统适当地发挥作用，并可以抑制聚光于加工对象物的内部的激光的像差。

此外，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，是通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而在加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：射出激光的激光光源、对由激光光源所射出的激光进行调制的反射型空间光调制器、调整由反射型空间光调制器调制后的激光的波阵面形状的调整光学系统、以及使由调整光学系统调整后的激光聚光于加工对象物的内部的聚光光学系统，在激光的光路上的调整光学系统和聚光光学系统之间配置有使激光透过的分色镜(dichroic mirror)。

在此，若发散或聚光的激光入射于分色镜，则透过分色镜后的激光可能会发生像散(astigmatism)。针对该点，在本发明的激光加工装置中，由调整光学系统进行调整使激光成为平行光，从而能够使平行光入射于分色镜，因此，可以抑制透过分色镜后的激光发生像散。

此时，还具备聚光点位置控制单元，该聚光点位置控制单元通过对加工对象物照射测定用激光并接收测定用激光的在加工对象物的反射光，从而使聚光点对准加工对象物的规定位置；分色镜使激光透过，并且反射测定用激光以及测定用激光的反射光。

此外，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，是通过使聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而在加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：射出激光的激光光源、对由激光光源所射出的激光进行调制的反射型空间光调制器、调整由反射型空间光调制器调制后的激光的波阵面形状的调整光学系统、使由调整光学系统调整后的激光聚光于加工对象物的内部的聚光光学系统、以及通过对加工对象物照射测定用激光并接收测定用激光的在加工对象物的反射光从而使聚光点对准加工对象物的规定位置的聚光点位置控制单元，在激光的光路上，在激光光源和反射型空间光调制器之间配置有反射激光的至少2个第1镜，在反射型空间光调制器和调整光学系统之间配置有反射激光的至少2个第2镜，在调整光学系统和聚光光学系统之间配置有使激光透过并且反射测定用激光以及测定用激光的反射光的分色镜。