[发明专利]激光-划线工具架构无效

专利信息
申请号: 200980146287.6 申请日: 2009-11-17
公开(公告)号: CN102217056A 公开(公告)日: 2011-10-12
发明(设计)人: 安托尼·P·马内斯;徐维勇 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L31/042
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;钟强
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及用于激光划线垂直定向工件的设备和系统。在许多实施例中,激光划线设备(30、60)包括框架、耦接所述框架的第一夹具(32)、耦接所述框架的第二夹具(34)、可操作以产生能够从所述工件(36)的至少一部分移除材料的输出的激光(96、100)及耦接所述激光(96、100)和所述框架的扫描装置(106)。所述第一夹具(32)配置为用于啮合所述工件(36)的第一部分。所述第二夹具(34)配置为用于啮合所述工件(36)的第二部分。当所述工件(36)由所述第一夹具及所述第二夹具啮合时,所述工件(36)实质上垂直定向。所述扫描装置(106)可操作以控制来自所述激光(96、100)的输出相对于所述工件(36)的位置。
搜索关键词: 激光 划线 工具 架构
【主权项】:
一种用于激光划线包括实质平坦表面的工件的设备,所述设备包括:框架;第一夹具,耦接所述框架,所述第一夹具被配置为用于啮合所述工件的第一部分;第二夹具,耦接所述框架,所述第二夹具被配置为用于啮合所述工件的第二部分,其中当所述工件由所述第一夹具及所述第二夹具啮合时,所述平坦表面实质上垂直定向;激光,可操作以产生能够从所述工件的至少一部分移除材料的输出;以及扫描装置,耦接所述激光及所述框架,所述扫描装置可操作以控制来自所述激光的输出相对于所述工件的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司,未经应用材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200980146287.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top