[发明专利]多结光电器件及其生产方法

摘要

本发明涉及一种多结光电器件(1)，包括其上沉积第一导电层(3)的基底(2)、其上沉积第二导电层(7)的n-i-p或n-p配置的至少两个基本光电器件(4，6)、以及在两个相邻基本光电器件(4，6)之间提供的至少一个中间层(5)。根据本发明的中间层(5)具有在进光侧的顶部面(10)和在另一侧的底部面(11)，所述底部面(11)具有大于150nm的峰到谷粗糙度，并且所述顶部面(10)和底部面(11)分别具有包括倾斜的基本表面的表面形态，使得α90底部小于α90顶部至少3°，优选地6°，更优选地10°，并且更优选地15°；其中α90顶部是这样的角度：中间层(5)的顶部面(10)的基本表面的90％具有等于或小于该角度的倾斜度，并且α90底部是这样的角度：中间层(5)的底部面(11)的表面的基本表面的90％具有等于或小于该角度的倾斜度。

主权项

一种多结光电器件(1)，包括其上沉积第一导电层(3)的基底(2)、其上沉积第二导电层(7)的n‑i‑p或n‑p配置的至少两个基本光电器件(4，6)、以及在两个相邻基本光电器件(4，6)之间提供的至少一个中间层(5)，其特征在于，所述中间层(5)具有在进光侧的顶部面(10)和在另一侧的底部面(11)，所述底部面(11)具有大于150nm的峰到谷粗糙度，并且其特征在于，所述顶部面(10)和底部面(11)分别具有包括倾斜的基本表面的表面形态，使得α90底部小于α90顶部至少3°，优选地6°，更优选地10°，并且甚至更优选地15°；其中α90顶部是这样的角度：所述中间层(5)的顶部面(10)的基本表面的90％具有等于或小于该角度的倾斜度，并且α90底部是这样的角度：所述中间层(5)的底部面(11)的基本表面的90％具有等于或小于该角度的倾斜度。