[发明专利]可进行X-Y调整的光学装配件有效
| 申请号： | 200980143729.1 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN102203929A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | D·L·布兰丁;J·W·弗兰克维奇;K·E·罕福德;K·J·马吉尔斯基 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张兰英;丁晓峰 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种光学元件装配件，该光学元件装配件具有通过多个挠曲件悬在外部部件内的内部部件。第一平移调整仪器和第二平移调整仪器设置成使内部部件在正交于光轴的平移平面内平移，其中每个平移调整仪器具有致动器和轴，该致动器可沿平行于平移平面的直线行进路径在外部部件内运动，而轴在外部部件和内部部件之间延伸，且该轴利用第一球窝接头连接于致动器并利用第二球窝接头连接于内部部件。致动器的用于第一平移调整仪器的直线行进路径基本正交于致动器的用于第二平移调整仪器的直线行进路径。 | ||
| 搜索关键词： | 进行 调整 光学 装配 | ||
【主权项】：
一种光学元件装配件，包括：内部部件，所述内部部件通过多个挠曲件悬在外部部件内；以及第一平移调整仪器和第二平移调整仪器，所述第一平移调整仪器和所述第二平移调整仪器设置成使所述内部部件在正交于光轴的平移平面内平移，其中每个平移调整仪器包括：(i)致动器，所述致动器可沿平行于所述平移平面的直线行进路径在所述外部部件内运动；(ii)轴，所述轴在所述外部部件和所述内部部件之间延伸，且所述轴利用第一球窝接头连接于所述致动器并利用第二球窝接头连接于所述内部部件；其中，所述致动器的用于所述第一平移调整仪器的直线行进路径基本正交于所述致动器的用于所述第二平移调整仪器的直线行进路径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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