[发明专利]可进行X-Y调整的光学装配件有效
申请号: | 200980143729.1 | 申请日: | 2009-10-30 |
公开(公告)号: | CN102203929A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | D·L·布兰丁;J·W·弗兰克维奇;K·E·罕福德;K·J·马吉尔斯基 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张兰英;丁晓峰 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进行 调整 光学 装配 | ||
1.一种光学元件装配件,包括:
内部部件,所述内部部件通过多个挠曲件悬在外部部件内;以及
第一平移调整仪器和第二平移调整仪器,所述第一平移调整仪器和所述第二平移调整仪器设置成使所述内部部件在正交于光轴的平移平面内平移,其中每个平移调整仪器包括:
(i)致动器,所述致动器可沿平行于所述平移平面的直线行进路径在所述外部部件内运动;
(ii)轴,所述轴在所述外部部件和所述内部部件之间延伸,且所述轴利用第一球窝接头连接于所述致动器并利用第二球窝接头连接于所述内部部件;
其中,所述致动器的用于所述第一平移调整仪器的直线行进路径基本正交于所述致动器的用于所述第二平移调整仪器的直线行进路径。
2.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述内部部件和所述外部部件以及所述多个挠曲件是一体地形成的。
3.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述外部部件是基本圆柱形的。
4.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述内部部件是基本圆柱形的。
5.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述内部部件具有孔。
6.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述内部部件对从包含有折射元件、反射元件、棱镜、衍射光栅以及薄膜的元件组中取得的光学元件进行保持。
7.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述内部部件绕所述光轴对称。
8.如权利要求2所述的一体式光学元件装配件,其特征在于,所述光学元件装配件由从包含不锈钢和铝的材料组中取得的材料所形成。
9.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述光学元件装配件还包括施加加载力的加载部件,所述加载力驱使所述内部部件朝向所述外部部件。
10.如权利要求9所述的光学元件装配件,其特征在于,所述加载部件是板簧或卷簧。
11.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,所述致动器包括调整螺钉。
12.如权利要求1所述的光学元件装配件,其特征在于,从包含磁性驱动致动器、机动驱动致动器以及压电驱动致动器的致动器组中取得所述致动器。
13.一种用于安装光学元件的方法,包括:
a)通过多个挠曲件将内部部件悬在外部部件内;
b)使第一轴在设置于所述外部部件中的第一致动器和形成在所述内部部件中的第一套座之间延伸,其中所述第一轴在各端处具有球窝联接;
c)使第二轴在设置于所述外部部件中的第二致动器和形成在所述内部部件中的第二套座之间延伸,其中所述第二轴在各端处具有球窝联接;
以及
d)提供加载力,所述加载力使所述第一轴和所述第二轴的端部抵靠接触它们的相应致动器和所述内部部件。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于,所述第一致动器的第一行进路径和所述第二致动器的第二行进路径在相同的平面内基本彼此正交。
15.如权利要求13所述的方法,其特征在于,提供加载力包括提供板簧。
16.如权利要求13所述的方法,其特征在于,提供加载力包括提供卷簧。
17.如权利要求13所述的方法,其特征在于,所述方法还包括将光学元件安装于所述内部部件。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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