[发明专利]包含稠合芳族环的抗反射涂料组合物无效
| 申请号： | 200980141908.1 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102197100A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·麦肯齐;C·安亚戴格伍 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C09D165/00 | 分类号： | C09D165/00;G03F7/09;H01L21/027;C08L61/16;C09D161/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宓霞 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
本发明涉及有机可旋涂抗反射涂料组合物，包含聚合物，其中所述聚合物包含(i)至少一种结构(1)的在聚合物主链中的具有稠合芳族环的单元，(ii)至少一种结构(2)的单元，和(iii)至少一种结构(3)的在聚合物主链中的具有环状脂族结构部分的单元，其中，Fr1是具有3个或更多个芳族环的取代或未取代的稠合芳族环结构部分，R′和R″独立地选自氢、C1-C4烷基、Z、C1-C4亚烷基Z和其中Z是取代或未取代的芳族结构部分，R1选自氢或芳族结构部分，B是取代或未取代的环脂族结构部分。本发明进一步涉及本发明组合物的成像方法。 |
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| 搜索关键词： | 包含 稠合芳族环 反射 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.有机可旋涂抗反射涂料组合物，包含聚合物，其中所述聚合物包含(i)至少一种结构(1)的在聚合物主链中的具有稠合芳族环的单元，(ii)至少一种具有结构(2)的单元，和(iii)至少一种结构(3)的在聚合物主链中的具有环状脂族结构部分的单元，![]()
其中，Fr1是具有3个或更多个芳族环的取代或未取代的稠合芳族环结构部分，R’和R”独立地选自氢、C1-C4烷基、Z、C1-C4亚烷基Z和其中Z是取代或未取代的芳族结构部分，R1选自氢或芳族结构部分，B是取代或未取代的环脂族结构部分。
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