[发明专利]包含有用于减小热应力的双缓冲层的静电吸盘

摘要

在静电吸盘和制造该静电吸盘的方法中，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体；具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被局部暴露出来的电极的基板；具有通过所述穿透孔和所述插入部分与所述电极接触的端子以及将所述主体与所述端子电绝缘开的绝缘构件的端子单元；设置在所述主体和所述绝缘构件之间的第一边界区域处的第一缓冲层，该第一缓冲层用于吸收热应力；以及设置在所述基板和所述绝缘构件之间的第二边界区域处的第二缓冲层，该第二缓冲层防止裂纹生长。因此，热应力被吸收到所述第一缓冲层并且第二缓冲层防止了裂纹生长。

主权项

一种静电吸盘，包括：具有穿透孔的主体；设置在所述主体上的基板，在该基板上通过静电力紧固有衬底，所述基板具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被局部暴露出来的电极；端子单元，其具有通过所述主体的穿透孔和所述基板的插入部分与所述电极形成接触的端子以及将所述主体与所述端子电绝缘的绝缘构件；设置在所述主体和所述绝缘构件之间的第一边界区域处的第一缓冲层，该第一缓冲层吸收所述主体的热应力；以及设置在所述基板和所述绝缘构件之间的第二边界区域处的第二缓冲层，该第二缓冲层防止裂纹生长到所述基板。