[发明专利]光学质量的表面加工工具

摘要

光学质量的表面加工工具，包括：刚性支座(60)；附着在刚性支座(60)上的可弹性压缩界面作用体(12)；和能够贴靠待加工面(71)的柔性的工垫(13)，工垫(13)附着在界面作用体(12)上，与刚性支座(60)相对；其特征在于，所述工垫(13)由可弹性延伸的膜体(14)载持，该膜体包括：中央盘片(15)；和多个带状体(18)，每个带状体从所述盘片(15)的周边径向突出，并且每个带状体具有与连接部件(38)夹持在一起的远端部分，每个带状体(18)围绕界面作用体(12)的所述侧向表面(28)卷起，然后延伸到所述连接部件，每个带状体(18)拉紧。

主权项

光学质量的表面加工工具，包括：具有横向端面(25a)的刚性支座(60)；附着于所述刚性支座(60)的可弹性压缩的界面作用体(12)，该界面作用体包括位于与所述刚性支座(60)的所述横向端面(25a)正对处的称为中央的部分(12a)和横向位于所述刚性支座(60)的所述横向端面(25a)以外的称为周边的部分(12b)，该界面作用体具有第一横向端面(26)、第二横向端面(27)、和从所述第一横向端面(26)的周边向所述第二横向端面(27)的周边延伸的侧向表面(28)，所述第一横向端面(26)贴靠并覆盖所述刚性支座(60)的所述横向端面(25a)；和适于贴靠待加工面(71)的柔性的工垫(13)，所述工垫(13)与所述刚性支座(60)相对地附着于所述界面作用体(12)，所述工垫(13)包括位于与所述刚性支座的所述横向端面(25a)正对处的称为中央的部分(13a)和横向地位于所述刚性支座的所述横向端面(25a)以外的称为周边的部分(13b)；其特征在于，所述工垫(13)由可弹性延伸的膜体(14)载持，该膜体包括：‑中央盘片(15)，该中央盘片具有第一横向端面(22)和第二横向端面(23)，所述工垫(13)粘接在该中央盘片的第一横向端面(22)上，该中央盘片的第二横向端面(23)贴靠并覆盖所述界面作用体(12)的所述第二横向端面(27)；和‑多个带状体(18)，每个带状体从所述中央盘片(15)的周边径向突出，并且每个带状体具有与连接部件(38；55)夹持在一起的远端部分，所述连接部件(38；55)位于与所述界面作用体(12)的第一横向端面(26)正对处，每个所述带状体(18)围绕所述界面作用体(12)的所述侧向表面(28)卷起，然后延伸直到所述连接部件，每个所述带状体(18)被拉紧。