[发明专利]光学质量的表面加工工具

说明书

技术领域

本发明涉及光学质量的表面加工，其用于如眼科玻璃的或照相器械镜头的表面，或用于观察远距离物体的仪器的表面或半导体基质的表面。

表面加工是指任何旨在改变预先加工成形的表面的状态的作业。表面加工特别涉及目的在于改变(减小或增加)表面粗糙度和/或减小表面波纹的抛光、磨光或粗糙化的作业。

技术背景

已经通过与美国专利申请US 2005/0101235对应的法国专利申请FR2 834 662、与美国专利申请US 2006/0154581对应的法国专利申请FR 2857 610、和与国际专利申请WO 2007/128894对应的法国专利申请FR 2900 356公知光学表面的表面加工工具，该工具包括：具有横向端面的刚性支座；附着(assujettie)于刚性支座的可压缩弹性的界面作用体，该界面作用体包括位于与所述刚性支座的所述端面正对处的称为中央的部分和横向位于所述刚性支座的所述端面以外的周边部分，该界面作用体具有第一横向端面、第二横向端面、和从所述第一端面的周边延伸到第二端面周边的侧向表面，所述第一端面贴靠并覆盖所述刚性支座的所述端面；和能够贴靠待加工表面的柔性的工垫(tampon)，该工垫与刚性支座相对地附着于所述界面作用体，并且包括位于与所述刚性支座的所述端面正对处的中央部分和横向位于所述刚性支座的所述端面以外的周边部分。

为了减小光学表面的粗糙度，使工具与光学表面接触，并在该表面保持足够的工具压力，以便通过所述界面作用体变形使工垫与光学表面的形状吻合。

在用流体喷洒光学表面的同时，带动光学表面相对工具旋转(或相反)，并用工具扫过光学表面。

一般地，带动光学表面旋转，该表面对工具的摩擦足以带动工具共同旋转。

表面加工作业需要研磨剂，研磨剂可以包含在工垫中或流体中。

表面加工过程中，可弹性压缩的界面作用体可以补偿工具的支座端面与光学表面之间的曲线差。

这些工具获得的结果一般是令人满意的，但有时很难避免某些外观缺陷，尤其是桔皮(英文：orange skin)和羊皮(英文：sheeplike)效应。

为了克服这些外观缺陷，已经提出使柔性的工垫的直径大于界面作用体的直径，使工垫具有横向突出到界面作用体外的环形部分。

该工具改变了表面外观，但是在某些情况下还存在这些表面缺陷。

发明内容

本发明的目的是提供表面加工工具，其特别是具有减小外观缺陷的特性，特别是但不限于对凹形待加工表面进行加工。

为此，本发明提出光学质量的表面加工工具，该工具包括：具有横向端面的刚性支座；附着于所述刚性支座的可弹性压缩的界面作用体，该界面作用体包括位于与所述刚性支座的所述横向端面正对处的称为中央的部分和横向位于所述刚性支座的所述横向端面以外的称为周边的部分，该界面作用体具有第一横向端面、第二横向端面、和从所述第一横向端面的周边向所述第二横向端面的周边延伸的侧向表面，所述第一横向端面贴靠并覆盖所述刚性支座的所述横向端面；和适于贴靠待加工面的柔性的工垫，所述工垫与所述刚性支座相对地附着于所述界面作用体，所述工垫包括位于与所述刚性支座的所述横向端面正对处的称为中央的部分和横向地位于所述刚性支座的所述横向端面以外的称为周边的部分，该工具的特征在于，所述工垫由可弹性延伸的膜体载持，所述膜体包括：

-中央盘片，该中央盘片具有第一横向端面和第二横向端面，所述工垫粘接在该中央盘片的第一横向端面上，该中央盘片的第二横向端面贴靠并覆盖所述界面作用体的所述第二横向端面；和

-多个带状体，每个带状体从所述中央盘片的周边径向突出，并且每个带状体具有与连接部件夹持在一起的远端部分，所述连接部件位于与所述界面作用体的第一横向端面正对处，每个所述带状体围绕所述界面作用体的所述侧向表面卷起，然后延伸直到所述连接部件，每个所述带状体被拉紧。

本发明的工具包括的膜体同时提供工垫的张力保持和界面作用体周边的紧箍的功能。

这样可以使本发明的工具性能特别好，尤其是在保持与待加工表面接触方面，其中包括当待加工表面具有非常大的高度变化时，例如涉及用于矫正老花、近视和散光配戴者视力的透镜玻璃的表面。

由于与待加工表面保持接触的性能，本发明的工具可以得到特别高的表面加工质量，特别是对凹面，但不限于凹面。

根据本发明的工具包括的膜体的实施例的优选特征：

-在每个所述带状体的远端部分中设有开口，以便将该远端部分接合在突起元件上，该突起元件形成所述连接部件；

-所述开口为长条形；