[发明专利]静电卡盘的使用极限判别方法无效
| 申请号： | 200980132402.4 | 申请日： | 2009-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102124554A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 井上永博 | 申请（专利权）人： | 爱发科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够准确判别静电卡盘是否达到使用极限的静电卡盘的使用极限判别方法。静电卡盘(2)具有第1电极(4)、第2电极(4′)以及由包覆这些电极(4、4′)的电介质构成的包覆层(5)，并被构成为通过从电源(7)对第1和第2电极(4、4′)施加电压，对载置于包覆层的表面的处理基板(S)进行吸附。利用电流计(8)对在吸附处理基板(S)的状态下流过两电极(4、4′)间的电流值进行检测，当检测出的电流值在规定的阈值以上时，则判别静电卡盘(2)达到使用极限。所述阈值按照与静电卡盘(2)接触的基板背面的电阻值不同的各种处理基板均被设定为不同值。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 使用 极限 判别 方法 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘的使用极限判别方法，该静电卡盘具有第1电极、第2电极以及由包覆这些电极的电介质构成的包覆层，通过对第1和第2两电极间施加电压，来对载置于包覆层的表面的处理基板进行吸附，其特征在于，在处理基板的吸附时对在第1和第2两电极间流动的电流值进行检测，并当检测出的电流值在规定的阈值以上时，判别静电卡盘达到使用极限，所述阈值按照与静电卡盘接触的基板背面的电阻值呈不同的各种处理基板的每一种而被设定为不同的值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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