[发明专利]远程等离子体清洗方法和用于应用所述方法的设备有效
| 申请号： | 200980126440.9 | 申请日： | 2009-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102089848A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | F-G.卢;C.埃勒特;G.贝切尔;J.马丁 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康太阳IP股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李娜;卢江 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种带有真空腔室（1）的真空处理系统具有进口（14）、至少第一和第二出口（3，4）、在所述出口（3，4）中的第一个出口处的排气装置（13）、和远程等离子体源RPS，其中RPS被附连于到所述出口中的第二个出口的连接点。在用于利用这种布置对真空处理系统进行远程等离子体清洗的方法中，自由基流由所述远程等离子体源产生并且在经由所述出口中的第二个出口（4）操作排气装置（13）时被引导到所述出口中的第一个出口。 | ||
| 搜索关键词： | 远程 等离子体 清洗 方法 用于 应用 设备 | ||
【主权项】：
一种真空处理系统，包括带有进口（14）、至少第一和第二出口（3，4）的真空腔室（1），在所述出口（3，4）中的第一个出口处的排气装置（13）、和远程等离子体源RPS，其中所述RPS被附连于到所述出口中的第二个出口的连接点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康太阳IP股份公司（特吕巴赫），未经欧瑞康太阳IP股份公司（特吕巴赫）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980126440.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置及其布置方法
- 下一篇：金属化薄膜电容器
