[发明专利]通过定向固化生长单晶硅锭的系统及方法无效
申请号: | 200980122771.5 | 申请日: | 2009-06-15 |
公开(公告)号: | CN102084037A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 钱德拉·P·卡塔克;圣塔纳·润格哈文·帕萨萨拉梯;布瓦拉盖斯艾米·G·拉维 | 申请(专利权)人: | GT太阳能公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郑特强;黄艳 |
地址: | 美国新罕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供用于产生如硅的单晶材料的系统及方法,该等单晶材料可使用在半导体和光伏打的应用中。于熔炉(10)中容置用于生长单晶锭的坩埚(50),该坩埚(50)初始装有单一个种晶(20)和原料(90),其中该种晶(20)至少部分被熔解,而该原料(90)完全熔解于该坩埚(50)中,接下来进行生长和固化程序。通过定向固化达到生长单晶材料(如硅锭),其中利用可相对于装有原料(90)的坩埚(50)而移动的隔离件(14)来达到生长阶段期间的排热。也设置有热交换器(200),以控制在该生长和固化程序期间来自该坩埚(50)的排热,以达到单晶生长。 | ||
搜索关键词: | 通过 定向 固化 生长 单晶硅 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种用于产生单晶锭的系统,包括:坩埚,其设置于熔炉中,且构造成容置单一个种晶和原料;至少一个加热组件,其用于加热和至少部分地熔解该种晶,并且将装于该坩埚中的该原料完全地熔解;热交换器,其用于控制来自该坩埚的排热,以促进来自该至少部分地熔解的种晶和该原料的该单晶锭的生长;以及隔离件,其装于该熔炉中,并构造成相对于该坩埚而移动,以促进该单晶锭的冷却和定向固化。
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