[发明专利]物品搬送设备有效
申请号: | 200980121719.8 | 申请日: | 2009-01-15 |
公开(公告)号: | CN102067299A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 乾吉隆;吉田充 | 申请(专利权)人: | 株式会社大福 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G49/07 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 代易宁;杨楷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在物品支撑体支撑物品的状态下防止对从上方侧到下方侧的净化空气的流动的阻碍,在抑制清洁度低下的同时保管物品。物品支撑体(28)具备相对于固定框体(29)在相对于移动路径的远近方向上被自由移动地支撑并形成为从固定框体(29)向下方延伸的形状的移动体(30)和以从移动体(30)的下端部沿着远近方向延伸的方式设置的载置体(31),载置体(31)由抵接载置部(40)和移动限制部(41)所构成,其中,抵接载置部以沿着移动路径的方向上在物品的宽度范围内且比物品的宽度小,并从移动体的下端部沿着远近方向延伸的方式设置,移动限制部具有以从抵接载置部(40)沿着移动路径的方向延伸的方式设置并抵接于物品的侧面部的立壁部分(41a),且以在相对于所述移动路径的远近方向上比物品宽度小的方式形成。 | ||
搜索关键词: | 物品 设备 | ||
【主权项】:
一种物品搬送设备,设有沿着经过相对于物品支撑体的物品装载移动位置的顶侧的移动路径自由移动的物品搬送体,所述物品支撑体相对于设置于顶侧的固定框体自由移动地支撑在向接近所述移动路径的一侧突出的物品接收和传递用的突出位置和向远离所述移动路径的一侧退后的退后位置,所述物品搬送体构成为在停止于所述物品装载移动位置的状态下,相对于所述突出位置的所述物品支撑体,进行物品的传递和接收,其中,所述物品支撑体具备相对于所述固定框体在相对于所述移动路径的远近方向上被自由移动地支撑并形成为从所述固定框体向下方延伸的形状的移动体和以从所述移动体的下端部沿着所述远近方向延伸的方式设置的载置体,所述载置体由抵接载置部和移动限制部所构成,所述抵接载置部以在沿着所述移动路径的方向上在物品的宽度范围内且宽度较小,并从所述移动体的下端部沿着所述远近方向延伸的方式设置,所述移动限制部具有以从所述抵接载置部沿着所述移动路径的方向延伸的方式设置并抵接于物品的侧面部的立壁部分,且以在相对于所述移动路径的远近方向上比物品宽度小的方式形成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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