[发明专利]用于沉积反应器的方法和装置有效
| 申请号： | 200980119508.0 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102046856A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | S·林德弗尔斯 | 申请（专利权）人： | 皮考逊公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;陈宇萱 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法和装置，其中沿着至少一条馈入线(141，142)将前体蒸气引导进入沉积反应器的反应室(110)，并且通过在反应室内建立前体蒸气的垂直流并且使得该垂直流以垂直方向进入垂直放置的衬底(170)之间，从而在反应室中的垂直放置的批量的衬底的表面上沉积材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 反应器 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：沿着至少一条馈入线，将前体蒸气引导进入沉积反应器的反应室；以及通过在所述反应室内建立前体蒸气的垂直流，并且使得所述垂直流以垂直方向进入垂直放置的衬底之间，从而在所述反应室中的垂直放置的批量的衬底的表面上沉积材料。
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