[发明专利]具有低水含量的光刻胶-去膜液的浓缩溶液的生产方法有效
| 申请号： | 200980101738.4 | 申请日： | 2009-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101910109A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 广濑克利;古山浩也;釜坂公浩;雀部太郎;贺井尚志 | 申请（专利权）人： | 神户天然物化学株式会社;比丘琳克股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C209/90 | 分类号： | C07C209/90;C07C211/63 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 柳冀 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供用于生产季铵氢氧化物浓缩溶液的方法，所述方法特征在于使含水晶体或含水溶液形式的季铵氢氧化物与选自二醇醚、二醇和三醇的水溶性有机溶剂混合，和将所得混合溶液进行在真空下的薄膜蒸馏以蒸发低沸点材料。根据该方法，能够容易地制得具有低水含量的季铵氢氧化物浓缩溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 含量 光刻 去膜液 浓缩 溶液 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产季铵氢氧化物浓缩溶液的方法，所述方法特征在于使含水晶体或含水溶液形式的季铵氢氧化物与选自二醇醚、二醇和三醇的水溶性有机溶剂混合，和将所得混合溶液进行在真空下的薄膜蒸馏以蒸发低沸点材料。
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