[发明专利]负载锁定装置和基板冷却方法

摘要

本发明提供负载锁定装置和基板冷却方法，该负载锁定装置(6、7)包括：容器(31)，其设置为能够使压力在与真空的搬送室(5)对应的压力和大气压之间变动；将容器(31)内的压力调整为与搬送室(5)对应的真空和大气压的压力调整机构(49)；相对地设置在容器(31)内的、通过与晶片(W)接近或接触而冷却晶片(W)的下部冷却板(32)和上部冷却板(33)；将晶片(W)搬送至下部冷却板(32)的冷却位置的晶片升降销(50)和驱动机构(53)；以及将晶片(W)搬送至上部冷却板(33)的冷却位置的晶片支承部件(60)和驱动机构(63)。

主权项

一种负载锁定装置，其用于从大气气氛向保持为真空的真空室搬送基板、并从所述真空室向所述大气气氛搬送高温的基板，所述负载锁定装置的特征在于，包括：容器，其设置为能够使压力在与真空室对应的压力和大气压之间变动；压力调整机构，其当所述容器内与所述真空室连通时，将所述容器内的压力调整为与所述真空室对应的压力，当所述容器内与所述大气气氛的空间连通时，将所述容器内的压力调整为大气压；第一和第二冷却部件，其在所述容器内相对地设置，通过与基板接近或接触而冷却基板；第一搬送机构，其接收被搬送至所述容器内的基板，并将基板搬送至与所述第一冷却部件接近或接触的位置；和第二搬送机构，其接收被搬送至所述容器内的基板，并将基板搬送至与所述第一冷却部件接近或接触的位置。