[实用新型]折叠梁式双向微惯性传感器

摘要

本实用新型涉及一种折叠梁式双向微惯性传感器。现有的传感器分辨率较低。本实用新型的硅质量块四个角上设置有四根蛇形折叠硅支撑梁，硅质量块通过蛇形折叠硅支撑梁和锚点架设在玻璃衬底上。硅质量块上交错设置有两个用于X方向敏感检测的栅形槽和两个用于Y方向敏感检测的栅形槽。玻璃衬底上设置有两个X方向检测模块和两个Y方向检测模块。用于X方向敏感检测的栅形槽与X方向检测模块位置对应，构成两组X方向检测差分检测电容；用于Y方向敏感检测的栅形槽与Y方向检测模块位置对应，构成两组Y方向检测差分检测电容。本实用新型中的蛇形折叠硅支撑梁具有残余应力较小、结构简单等优点。本实用新型分辨率和灵敏度高，制作工艺简单。

主权项

折叠梁式双向微惯性传感器，包括正方形的硅质量块、锚点、蛇形折叠硅支撑梁、玻璃衬底、铝电极、阻尼梳齿，其特征在于：硅质量块四个角上分别设置有四根蛇形折叠硅支撑梁梁，四根蛇形折叠硅支撑梁分别与四个锚点固定连接，硅质量块通过四根蛇形折叠硅支撑梁和四个锚点架设在玻璃衬底上；硅质量块上设置有两个用于X方向敏感检测的栅形槽和两个用于Y方向敏感检测的栅形槽；用于X方向敏感检测的栅形槽和用于Y方向敏感检测的栅形槽成田字形交错排列；玻璃衬底上设置有四个检测模块，分别为通过铝线连接的两个X方向检测模块和通过铝线连接的两个Y方向检测模块，所述的检测模块为玻璃衬底上的栅形铝电极；硅质量块上的两个用于X方向敏感检测的栅形槽分别与玻璃衬底上设置的两个X方向检测模块位置对应，构成两组X方向检测差分检测电容；硅质量块上的两个用于Y方向敏感检测的栅形槽分别与玻璃衬底上设置的两个Y方向检测模块位置对应，构成两组Y方向检测差分检测电容；硅质量块上的用于X方向敏感检测的栅形槽和用于Y方向敏感检测的栅形槽在X和Y方向上完全对称；所述的阻尼梳齿分布在硅质量块的边框四周，X方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接，Y方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接。