[实用新型]三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置有效
| 申请号： | 200920243959.2 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN201587864U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 梁进 | 申请（专利权）人： | 乐山永祥硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D5/00;B01D53/00 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 614800 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其结构为：包括依次连接的尾气回收罐、尾气压缩机、尾气冷凝器、回收捕集器、尾气缓冲罐、氯化氢合成炉，并且每个设备都设置有相应的稳压装置；所述尾气冷凝器为双级冷凝器，由依次连接的尾气前冷凝器和尾气后冷凝器组成；所述尾气缓冲罐和氯化氢合成炉设置有依次连接的二氧化硅分离器和氢气阻火器；本装置结构简单，采用低成本工艺路线回收利用三氯氢硅合成尾气，操作简单，节约能源，还降低了三废排放量，比较环保，运行成本低，可大力推动三氯氢硅尾气综合治理及利用，提高社会经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 尾气 回炉 燃烧 回收 利用 装置 | ||
【主权项】：
三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：包括依次连接的尾气回收罐(1)、尾气压缩机(2)、尾气冷凝器、回收捕集器(5)、尾气缓冲罐(6)、氯化氢合成炉(7)，并且每个设备都设置有相应的稳压装置；所述尾气冷凝器为双级冷凝器，由依次连接的尾气前冷凝器(3)和尾气后冷凝器(4)组成；所述尾气缓冲罐(6)和氯化氢合成炉(7)之间设置有依次连接的二氧化硅分离器(8)和氢气阻火器(9)。
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