[实用新型]三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置有效
| 申请号： | 200920243959.2 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN201587864U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 梁进 | 申请（专利权）人： | 乐山永祥硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D5/00;B01D53/00 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 614800 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 尾气 回炉 燃烧 回收 利用 装置 | ||
【权利要求书】：
1.三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：包括依次连接的尾气回收罐(1)、尾气压缩机(2)、尾气冷凝器、回收捕集器(5)、尾气缓冲罐(6)、氯化氢合成炉(7)，并且每个设备都设置有相应的稳压装置；所述尾气冷凝器为双级冷凝器，由依次连接的尾气前冷凝器(3)和尾气后冷凝器(4)组成；所述尾气缓冲罐(6)和氯化氢合成炉(7)之间设置有依次连接的二氧化硅分离器(8)和氢气阻火器(9)。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：所述尾气压缩机(2)和尾气冷凝器之间设置有去粗品中间罐(10)。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：所述尾气前冷凝器(3)、尾气后冷凝器(4)和回收捕集器(5)均连接于同一个回收液计量罐(11)。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：所述氯化氢合成炉(7)为钢制的，氯化氢合成炉(7)的炉体外部采用散热片结构。
5.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置，其特征在于：所述尾气压缩机(2)为两级活塞式压缩机，为双级气体保护密封结构，尾气压缩机的中间设置有连接腔体。
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