[实用新型]晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构

摘要

本实用新型提供一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、中心转轴、及法兰，所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其主要包括旋设于所述第一螺孔的微调空心螺丝、用以对所述微调空心螺丝调节的空心螺帽，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间的球面垫圈及球面垫座，以及将所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固的紧固螺栓，本实用新型与现有技术相比，微调元件和锁固元件之间相互独立，且采用了球面垫座及球面垫圈结构，不但使调节操作变得容易，还解决了现有技术中靠螺丝旋进旋出调节而引起的不精确及不牢固的问题。

主权项

一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、设置于所述可转动台面上的法兰，且所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在于，所述调节机构还包括：微调空心螺丝，旋设于所述第一螺孔，并具有对应所述第一螺孔的外螺纹，所述微调空心螺丝顶端具有卡槽；空心螺帽，底端具有对应卡合至所述卡槽的卡块，中部具有挡止部以及顶端具有操作部；球面垫座，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间，且所述球面垫座底面为平面；球面垫圈，位于所述微调空心螺丝与所述球面垫座之间，所述球面垫圈容置于所述球面垫座中；以及紧固螺栓，依次穿过所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固于所述第二螺孔。