[实用新型]晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构无效
| 申请号： | 200920211039.2 | 申请日： | 2009-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201552496U | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟 | 申请（专利权）人： | 昭进半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201718 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆背磨机 旋转 磨削 吸盘 调节 机构 | ||
1.一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、设置于所述可转动台面上的法兰，且所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在于，所述调节机构还包括：
微调空心螺丝，旋设于所述第一螺孔，并具有对应所述第一螺孔的外螺纹，所述微调空心螺丝顶端具有卡槽；
空心螺帽，底端具有对应卡合至所述卡槽的卡块，中部具有挡止部以及顶端具有操作部；
球面垫座，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间，且所述球面垫座底面为平面；
球面垫圈，位于所述微调空心螺丝与所述球面垫座之间，所述球面垫圈容置于所述球面垫座中；以及
紧固螺栓，依次穿过所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固于所述第二螺孔。
2.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述空心螺帽的挡止部的直径大于所述第一螺孔的孔径。
3.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述空心螺帽的操作部呈六角螺帽结构。
4.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述微调空心螺丝的底端抵靠于所述球面垫圈上。
5.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：连通所述第一螺孔的底端具有容置沉孔，用于容置所述球面垫圈及球面垫座。
6.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述球面垫座具有凹形球面。
7.如权利要求6所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述球面垫圈与所述球面垫座的凹形球面相吻合。
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