[实用新型]晶圆背磨机的磨头调节机构

摘要

本实用新型提供一种晶圆背磨机的磨头调节机构，用以对所述磨头的前、后，左、右倾斜角度进行调整，所述调节机构至少包括有第一拖板、活动结合于所述第一拖板的第二拖板、及活动结合于所述第二拖板的磨头座，其重点是藉由所述垂向斜块的倾斜面抵触所述纵向圆轴的弧面，以使所述垂向斜块的倾斜面垂向运动时迫使所述纵向圆轴于横向活动，进而带动所述磨头座绕轴心前顷或后仰调整，以及藉由第一螺孔板及第二螺孔板与纵向调整件的结合，利用螺纹的螺距差值达到精确的左、右倾斜角度调整，与现有技术相比，本实用新型不但便于调节操作，而且还可以达成二维空间的精确调节，进而解决了现有技术中调节操作极为不便，费时费力而降低了工作效率等诸多缺点。

主权项

一种晶圆背磨机的磨头调节机构，其至少包括有第一拖板、活动结合于所述第一拖板的第二拖板、以及活动结合于所述第二拖板的磨头座，其特征在于：垂向斜块，设置于所述第二拖板，所述垂向斜块具有一垂向螺孔以及相对垂向呈倾斜夹角的倾斜面；纵向圆轴，设置于所述磨头座，所述纵向圆轴的弧面接触所述垂向斜块的倾斜面；第一螺孔板，固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一内螺纹；第二螺孔板，固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二内螺纹；以及纵向调整件，具有相对所述第一内螺纹的第一外螺纹及相对所述第二内螺纹的第二外螺纹，所述纵向调整件依次穿过所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋设于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔内旋进或旋出时带动所述第二拖板纵向移动。