[实用新型]晶圆背磨机的磨头调节机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种技术调节技术，特别是涉及一种应用于晶圆背磨机的磨头调节机构。

背景技术

随着电子信息产业的快速发展，集成电路(integratedcircuit，IC)的运用已经无处不在，因而作为集成电路的原材料，晶圆制造加工业的发展也日趋发展。集成电路作为极为精密的器件，在各个生产环节中对精准度的要求都不容忽视。晶圆制造过程中的每一个步骤，包括蚀刻、氧化、沉积、去光阻、以及化学机械磨削等，其中在机械磨削过程中对晶圆的磨削精度有着极为严格的要求和限制。

为了薄化半导体封装件通常会对晶圆的背面实施磨削，而完成该项制程的就是业内俗称的晶圆背磨机。所述的晶圆背磨机通常包括可旋转的工作台面、多个设置在该工作台面上并可转动的旋转磨削吸盘、以及悬设于该工作台面上方的磨头等部件。对晶圆进行磨削时，是先将晶圆放置在其中的一个旋转磨削吸盘上，再将转动的磨头放下对准该晶圆载具上的晶圆进行磨削作业。在现有技术中，为确保对晶圆的磨削精度，必须保证该磨头相对该旋转磨削吸盘的高度水平精度，因此就需要在磨削作业前对该磨头进行水平检测并横向调整或纵向调整。

在现有技术中，无论是对背磨机的磨头进行横向调整还是纵向调整均是采用螺丝在螺孔中的旋进旋出的方式，由于背磨机的磨头大多装设有质量比较重的驱动装置(例如马达)，所以要调整其移位的时候需要很大的力量，因而所采用的调整螺丝也是牙径长螺距宽的高强度调节螺丝，然，由于所述磨头大多是微观上的倾斜，用以上所述调节螺丝稍微旋进或旋出一点就会形成很大的误差，进而导致调节不精确，为解决这一问题，业内人员往往会在磨头的对称两侧均设置调节螺丝，于调节磨头时采用一边旋出一边旋进的方式而达到精确调节的目的，但是，调节螺丝位于磨头两侧操作极为不便，往往一个操作人员难以单独完成，不仅费时而且费力，进而降低了工作效率。

所以，如何提供一种晶圆背磨机的磨头调节机构，以避免以上所述的缺点，实为相关领域之业者目前亟待解决的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆背磨机的磨头调节机构，不但便于调节操作，而且还可以达成二维空间的精确调节。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆背磨机的磨头调节机构，其至少包括有第一拖板、第二拖板、磨头座、垂向斜块、纵向圆轴、第一螺孔板、第二螺孔板、纵向调整件。其中，所述第二拖板活动结合于所述第一拖板；所述磨头座活动结合于所述第二拖板；所述垂向斜块设置于所述第二拖板，所述垂向斜块具有一垂向螺孔以及相对垂向呈倾斜夹角的倾斜面；所述纵向圆轴设置于所述磨头座，所述纵向圆轴的弧面接触所述垂向斜块的倾斜面；所述第一螺孔板固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一内螺纹；所述第二螺孔板固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二内螺纹；所述纵向调整件具有相对所述第一内螺纹的第一外螺纹及相对所述第二内螺纹的第二外螺纹，所述纵向调整件依次穿过所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋设于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔内旋进或旋出时带动所述第二拖板纵向移动。

在本实用新型的晶圆背磨机的磨头调节机构，还包括一微调螺杆，所述微调螺杆旋设于所述垂向斜块的垂向螺孔，并于旋进或旋出时带动所述垂向斜块垂向移动；所述第二拖板与磨头座之间具有中心轴，由于所述垂向斜块的倾斜面抵触所述纵向圆轴的弧面，故在所述垂向斜块的倾斜面垂向运动时必迫使所述纵向圆轴于横向移动，并以所述第二拖板与磨头座之间的中心轴为支点，进而撬动所述磨头座横向调节。

在本实用新型的晶圆背磨机的磨头调节机构，还包括一横向紧固件；所述垂向斜块还具有一狭长槽，所述纵向圆轴具有一对应所述狭长槽的通孔，所述横向紧固件依次穿过所述通孔及狭长槽，于所述磨头座横向调节好之后，将所述纵向圆轴及垂向斜块的相对位置固定。于具体的实施方式中，所述横向紧固件为螺栓。

在本实用新型的晶圆背磨机的磨头调节机构中，所述第一内螺纹的螺距大于所述第二内螺纹的螺距，所述第一外螺纹的螺距大于所述第二外螺纹的螺距，所述第一内螺纹的螺距等于所述第一外螺纹的螺距，所述第二内螺纹的螺距等于所述第二外螺纹的螺距。于具体的实施方式中，所述纵向调整件为差动螺丝。