[实用新型]晶圆背磨机的磨头调节机构无效
| 申请号： | 200920211038.8 | 申请日： | 2009-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201559119U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟 | 申请（专利权）人： | 昭进半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201718 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆背磨机 调节 机构 | ||
1.一种晶圆背磨机的磨头调节机构，其至少包括有第一拖板、活动结合于所述第一拖板的第二拖板、以及活动结合于所述第二拖板的磨头座，其特征在于：
垂向斜块，设置于所述第二拖板，所述垂向斜块具有一垂向螺孔以及相对垂向呈倾斜夹角的倾斜面；
纵向圆轴，设置于所述磨头座，所述纵向圆轴的弧面接触所述垂向斜块的倾斜面；
第一螺孔板，固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一内螺纹；
第二螺孔板，固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二内螺纹；以及
纵向调整件，具有相对所述第一内螺纹的第一外螺纹及相对所述第二内螺纹的第二外螺纹，所述纵向调整件依次穿过所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋设于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔内旋进或旋出时带动所述第二拖板纵向移动。
2.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：还包括一微调螺杆，旋设于所述垂向斜块的垂向螺孔，并于旋进或旋出时带动所述垂向斜块垂向移动。
3.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述垂向斜块还具有一狭长槽。
4.如权利要求3所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述纵向圆轴具有一对应所述狭长槽的通孔。
5.如权利要求4所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：还包括一横向紧固件，所述横向紧固件依次穿过所述通孔及狭长槽将所述纵向圆轴及垂向斜块的相对位置固定。
6.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述第二拖板与磨头座之间具有中心轴。
7.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述第一内螺纹的螺距大于所述第二内螺纹的螺距。
8.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述第一外螺纹的螺距大于所述第二外螺纹的螺距。
9.如权利要求7或8所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述第一内螺纹的螺距等于所述第一外螺纹的螺距；所述第二内螺纹的螺距等于所述第二外螺纹的螺距。
10.如权利要求1所述的晶圆背磨机的磨头调节机构，其特征在于：所述纵向调整件为差动螺丝。
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