[实用新型]一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的装置有效
| 申请号： | 200920174762.8 | 申请日： | 2009-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN201485289U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 朱国平;潘和平;夏进京;刘兴国 | 申请（专利权）人： | 重庆大全新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 404000 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：氢化炉，与氢化炉底部相连接的尾气换热器；所述尾气换热器包括第一换热段，第一换热段包括外壳，外壳内套有双层套管，由外向内逐次为第一套管和第二套管，第一套管的第一端与氢化炉内部相连通，第二套管在尾气换热器与氢化炉相连接处的第一端设置朝向氢化炉内部的喷嘴，外壳在氢化炉底部的第一端设置与第一端相连通的排出管。在本实用新型提供的装置中，反应气体先被预热后再进入氢化炉中进行氢化反应，能够节省能源，并且使得氢化反应的反应速度较快，反应时间较短，产能大，适合大规模多晶硅的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 氯化 生产 三氯氢硅 装置 | ||
【主权项】：
一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：氢化炉，与氢化炉底部相连接的尾气换热器；所述尾气换热器包括第一换热段，第一换热段包括外壳，外壳内套有双层套管，由外向内逐次为第一套管和第二套管，第一套管的第一端与氢化炉内部相连通，第二套管在尾气换热器与氢化炉相连接处的第一端设置朝向氢化炉内部的喷嘴，外壳在氢化炉底部的第一端设置与第一端相连通的排出管。
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