[实用新型]模组化的探针卡装置

摘要

一种模组化的探针卡装置，该数模组化微探针基板正面布植数个微探针，一印刷电路板，设有数连接点，与具有线路放大功能的该基板背面数连接点互相对应，以电气连接装置连接基板与印刷电路板，且可分别调整每一模组化微探针基板的相对位置，使该探针卡与一测试机台可维持良好的共平面度及微探针可准确接触待测晶片的测试垫，该上固定座及该下固定座将该印刷电路板夹于其间，并将该印刷电路板调整出较佳的平坦度，再经电器连接装置将该基板上的电子讯号连接至该印刷电路板上。如此，可克服大面积基板制作困难问题、有效降低成本；且当探针卡使用过程中发生局部损坏时仅需更换所属区域的单元，无须整组汰换，可以节省整组汰换的成本浪费。

主权项

一种模组化的探针卡装置，其特征在于，包含有：数模组化微探针基板，该数模组化微探针基板均包含有一基板，该基板正面布植数个微探针，且微探针的位置与待测裸晶的测试垫互相对应；一印刷电路板，该印刷电路板设有数电气接点与该基板背面数电气接点互相对应；一电气连接装置，该电气连接装置连接于该基板与该印刷电路板间；以及，一固定装置，该固定装置结合至该印刷电路板的下面。