[实用新型]模组化的探针卡装置

权利要求书

1.一种模组化的探针卡装置，其特征在于，包含有：

数模组化微探针基板，该数模组化微探针基板均包含有一基板，该基板正面布植数个微探针，且微探针的位置与待测裸晶的测试垫互相对应；

一印刷电路板，该印刷电路板设有数电气接点与该基板背面数电气接点互相对应；

一电气连接装置，该电气连接装置连接于该基板与该印刷电路板间；以及，

一固定装置，该固定装置结合至该印刷电路板的下面。

2.如权利要求1所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该固定装置更包括一上固定座及一下固定座，该印刷电路板夹于该上固定座及该下固定座之间。

3.如权利要求2所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置设数支用以将该基板电子讯号连接至该印刷电路板上的弹性针。

4.如权利要求1所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置相应于该模组化微探针基板而设成一模组化结构。

5.如权利要求1所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置亦包含一弹性针固定座，该弹性针固定座具有两端开口大小不同的数通孔，数具大小不同的大端及小端的弹性针由上述小开口置入该通孔中，该弹性针的该大端与印刷电路板电气接点连接，该弹性针的小端与该模组化微探针基板电气接点连接。

6.如权利要求5所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置设成一模组化结构。

7.如权利要求1所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置包含具有弧度的数弹性针，其组装在一第一固定板与一第二固定板之间，该电气连接装置组装在该印刷电路板与该模组化微探针基板之间。

8.如权利要求7所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置设成一模组化的电气连接装置。

9.如权利要求1所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置包括在该印刷电路板上粘结的一导电胶，该印刷电路板上有数个电气连接凸点，该模组化微探针基板上有与该印刷电路板对应的数个电气连接凸点，上述两组电气连接凸点通过对位、施加压力而全部构成电气连接。

10.如权利要求9所述的模组化的探针卡装置，其特征在于，该电气连接装置设成一模组化结构。