[实用新型]用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置

摘要

本实用新型公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，该装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)，分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环回路。利用本实用新型，有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同时，二氧化碳在相态转换时压力可调，消除了有机置换液凝固时的涨裂现象。二氧化碳的使用更加绿色环保，无有机污染，节约资源。

主权项

1、一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，该装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)，分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环回路。