[实用新型]一种磁控溅射溅镀后的太阳能电池冷却装置有效

专利信息
申请号: 200920094606.0 申请日: 2009-10-29
公开(公告)号: CN201584426U 公开(公告)日: 2010-09-15
发明(设计)人: 杨继泽;刘万学;刘志才;崔庆春;马力斌;强艳建;赵松雪;杜宏荀 申请(专利权)人: 吉林庆达新能源电力股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 代理人: 石岱
地址: 136001 *** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 实用新型涉及一种磁控溅射生产线中的冷却装置,具体的说是一种在磁控溅射溅镀中对太阳能电池的冷却装置。该冷却装置包括并排设置的两个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨,所述的传送导轨设置在两个冷却箱的上面,电池挂片箱挂装在传送导轨上;所述的前面的冷却箱的温度设置为40℃,后面的冷却箱的温度设置为30℃。本实用新型由于采用上述结构,能够对太阳能电池在磁控溅射工序后逐步冷却,有利于太阳能电池的应力释放,保证了太阳能电池的性质稳定,不会有炸片的情况发生。
搜索关键词: 一种 磁控溅射 溅镀后 太阳能电池 冷却 装置
【主权项】:
一种磁控溅射溅镀后的太阳能电池冷却装置,其特征在于:该冷却装置包括并排设置的两个冷却箱1和2、电池挂片箱(3)、传送导轨(4),所述的传送导轨(4)设置在两个冷却箱1和2的上面,电池挂片箱(3)挂装在传送导轨(4)上。
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