[实用新型]多晶硅还原炉电极外套强制冷却装置无效
申请号: | 200920090542.7 | 申请日: | 2009-06-01 |
公开(公告)号: | CN201433108Y | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 赵双喜;林亮亮;薛爱芳;李开英;白建峰;赵金勇 | 申请(专利权)人: | 三门峡化工机械有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 郑州科维专利代理有限公司 | 代理人: | 张欣棠;郭乃凤 |
地址: | 472000河南省三门峡市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极外套强制冷却装置,它含有底盘、底盘夹腔、电极座、电极、冷却介质进入总管和冷却介质排出总管,所述每一电极座的外壁均设置有一个夹套,所述夹套下端与所述底盘夹腔的下部底板密封连接,其上端与所述底盘之间留有间隙,所述每一夹套的下部均分别通过冷却介质分布管与所述冷却介质进入总管连通。本实用新型冷却介质通过分布管路直接进入各冷却夹套内对电极座外部进行冷却,并且底盘的底部设置有集气腔,保证底盘夹腔内为满液状态,从而使电极座及底盘得到充分冷却,从而保证多晶硅的产量和产品质量,推广后具有良好的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 电极 外套 强制 冷却 装置 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅还原炉电极外套强制冷却装置,含有底盘、底盘夹腔、电极座、电极、冷却介质进入总管和冷却介质排出总管,其特征是:所述每一电极座的外壁均设置有一个夹套,所述夹套下端与所述底盘夹腔的下部底板密封连接,其上端与所述底盘之间留有间隙,所述每一夹套的下部均分别通过冷却介质分布管与所述冷却介质进入总管连通。
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