[实用新型]射频阻抗匹配装置

摘要

本实用新型涉及一种射频阻抗匹配装置，包括控制单元、功率相位检测单元、阻抗匹配网络、负载线圈、步进电机和电位器。功率相位检测单元连接在阻抗匹配网络和射频电源之间，阻抗匹配网络连有电位器和步进电机，控制单元与功率相位检测单元、步进电机和电位器连接，射频电源输出的射频信号经过功率相位检测器，功率相位检测器检测出射频信号的入射功率、反射功率和相位差并传至控制单元，控制单元通过控制步进电机来改变阻抗匹配网络中可变电容的容值，并利用电位器记录阻抗匹配网络电容容值的变化，输出信号接至控制单元，实现负载阻抗的闭环控制。实现负载阻抗状态和阻抗匹配装置工作状态的实时监控，有控制精度高，阻抗调节速度快的优点。

主权项

1.一种射频阻抗匹配装置，包括：功率相位检测单元，从经过其中的射频信号中检测出入射功率、反射功率和相位差；控制单元，用于对负载阻抗状态的判断和数值的计算，并且对阻抗网络的状态进行控制；阻抗匹配网络，连接在射频电源和负载之间；其特征在于：该装置还包括电位器和步进电机，电位器与阻抗匹配网络连接，记录阻抗匹配网络电容容值的变化并反馈至控制单元；功率相位检测单元连接在阻抗匹配网络和射频电源之间，阻抗匹配网络连有电位器和步进电机，控制单元与功率相位检测单元、步进电机和电位器连接，射频电源输出的射频信号经过功率相位检测器，功率相位检测器检测出射频信号的入射功率、反射功率和相位差并传至控制单元，控制单元对负载阻抗状态的判断和数值的计算，根据判断和计算结果，控制单元通过控制步进电机来改变阻抗匹配网络中可变电容的容值，并利用电位器记录阻抗匹配网络电容容值的变化，输出信号接至控制单元，实现负载阻抗的闭环控制。