[实用新型]芯片外观缺陷自动检测装置无效
申请号: | 200920057452.8 | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN201434842Y | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 黄茜;许国庆;欧阳兆煊;吴元 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95;G01B11/00;G01J3/46 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李卫东;黄 磊 |
地址: | 510640广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了芯片的一种外观缺陷自动检测装置,该检测装置包括:控制电脑、芯片自动传送系统,控制电脑设有缺陷智能识别系统,芯片自动传送系统与缺陷智能识别系统连接;该检测装置的检测步骤为:(1)调整对被测芯片照明的光源;经过光学镜头,传送到CCD摄像机,(2)将CCD摄像机所成图像通过线缆传输到控制电脑,(3)缺陷智能识别系统工作,进行图像识别,检测与评判图像,(4)缺陷智能识别系统发送相应信号到控制电路以控制传送装置、分流机械进行合格品与非合格品的产品分流;本实用新型可以对芯片外观缺陷进行自动检测,实现准确、可靠和高效的芯片外观质量检测。 | ||
搜索关键词: | 芯片 外观 缺陷 自动检测 装置 | ||
【主权项】:
1、一种芯片外观缺陷自动检测装置,其特征在于:包括控制电脑、芯片自动传送系统、CCD摄像机,所述控制电脑设有缺陷智能识别系统,所述缺陷智能识别系统与CCD摄像机连接,所述芯片自动传送系统与控制电脑连接,CCD摄像机朝向被测芯片。
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