[发明专利]液晶显示器与其制造方法有效
| 申请号： | 200910308010.0 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102033379A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 林耀楠 | 申请（专利权）人： | 群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;G03F9/00;H01L21/82 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种形成液晶显示器的方法。该方法首先提供一基板，并定义有一薄膜晶体管区和一像素区，接着在基板上形成一透明导电层和一第一金属层。进行一第一光刻及刻蚀步骤，以在该薄膜晶体管区上形成一栅极和在像素区上形成一像素电极。之后形成一绝缘层和一半导体层，并去除像素区的绝缘层和半导体层，接着去除像素区上的第一金属层。形成一第二金属层后，进行一第二光刻及刻蚀步骤，以在薄膜晶体管区上形成一源极和一漏极，最后在该基板上形成一保护层。由于利用了第一光掩膜、第二光掩膜和去膜制造过程，因此本方法仅需要两道光掩膜即可完成薄膜晶体管数组。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示器 与其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示器的制作方法，其包含以下步骤：提供一基板，该基板上定义有一薄膜晶体管区和一像素区；在该基板上形成一透明导电层和一第一金属层；进行一第一光刻及刻蚀步骤，利用一第一光掩膜图案化该第一金属层与该透明导电层，以在该薄膜晶体管区上形成一栅极，在该像素区上形成一像素电极；在该基板上形成一绝缘层和一半导体层；去除该像素区的该绝缘层和该半导体层；去除该像素区的该第一金属层；在该基板上形成一第二金属层；进行一第二光刻及刻蚀步骤，以在该薄膜晶体管区上形成一源极和一漏极；和在该基板上形成一保护层。
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