[发明专利]气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法有效
| 申请号: | 200910301837.9 | 申请日: | 2009-04-25 |
| 公开(公告)号: | CN101871904A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
| 发明(设计)人: | 裴绍凯 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;G01R23/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种气体检测装置,其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层,所述石英板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一电极形成于第一表面,所述第二电极形成于第二表面,所述第一活化层形成于第一电极表面,所述第一活化层形的材料为氧化铜,用于活化所述吸附层。所述吸附层形成于第一活化层表面,所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成,所述吸附层用于吸附待检测气体,以使气体检测装置的质量发生变化,从而获得待检测气体的浓度。 | ||
| 搜索关键词: | 气体 检测 装置 系统 制作方法 | ||
【主权项】:
一种气体检测装置,其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层,所述石英板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一电极形成于第一表面,所述第二电极形成于第二表面,所述第一活化层形成于第一电极表面,所述第一活化层的材料为氧化铜,用于活化吸附层,所述吸附层形成于第一活化层表面,所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成,用于吸附待检测气体,以使气体检测装置的质量发生变化,从而获得待检测气体的浓度。
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