[发明专利]气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测装置领域，尤其涉及一种用于气体检测的气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法。

背景技术

随着如重工业、纺织业、塑料化工等产业的迅速发展，使得人们的生活需要得到了满足，同时，也产生了很多危害人们身体健康的气体。这些气体中的很多种如甲醛、一氧化碳等无嗅无味，使得人们在不知不觉中身体受到伤害，环境受到污染。因此，具有感测有害气体的感测器产生了，并得到了广泛的应用。请参阅文献ZnO Nanotip-based QCM Biosensors，Zheng Zhang；Hanhong Chen；Jian Zhong；Ying Chen；Yicheng Lu；InternationalFrequency Control Symposium and Exposition，2006 IEEE，June 2006Page(s)：545-549。

然而，目前使用的气体检测系统存在着灵敏度低、选择性差、稳定性差或者不能长期使用的问题，使得气体的感测存在误差。

发明内容

因此，有必要提供一种气体检测装置及气体检测系统，所述气体检测装置、气体检测系统及所述气体检测装置的制作方法，所述气体检测装置及气体检测系统具有灵敏度高及稳定性佳的特点。以下将以实施例说明一种气体检测装置、一种气体检测系统及所述气体检测装置的制作方法。

一种气体检测装置，其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面，所述第一电极形成于第一表面，所述第二电极形成于第二表面，所述第一活化层形成于第一电极表面，所述第一活化层形的材料为氧化铜，用于活化吸附层。所述吸附层形成于第一活化层表面，所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成，所述吸附层用于吸附待检测气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而获得待检测气体的浓度。

一种气体检测系统包括：所述气体检测装置，其用于吸附气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而使其振荡频率发生变化；检测室，其用于放置气体检测装置，并用于通入待检测气体，以使得气体检测装置吸附待检测气体；频率检测装置，其连接于所述第一电极与第二电极，用于检测气体检测装置的振荡频率，以根据气体检测装置的振荡频率的变化获得待检测气体的浓度。

一种气体检测装置的制作方法包括：一种气体检测装置的制作方法，包括：提供一个石英板，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面；在所述石英板的第一表面形成第一电极，在石英板的第二表面第二电极；在第一电极的表面通过化学气相沉积法形成第一活化层，所述第一活化层的材料为氧化铜；在第一活化层的表面通过金属有机化学气相沉积形成二氧化铱纳米棒层；高温还原所述二氧化铱纳米棒层中的部分二氧化铱，形成由铱二氧化铱纳米棒形成的吸附层，从而得到气体检测装置。

本技术方案中的气体检测系统以及气体检测装置利用石英晶体的反压电效应，在石英板表面形成有吸附层及第一活化层，所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成，所述第一活化层由氧化铜组成，所述第一活化层在进行吸附气体的过程中活化吸附层，吸附层吸附气体后气体检测装置的质量发生变化，从而导致气体检测装置的振荡频率发生改变，因而通过频率检测装置量测气体检测装置的频率的变化，通过计算处理，便可检测待检测气体。因而，本技术方案的气体检测装置及气体检测系统具有很高的灵敏度。本技术方案提供的气体检测装置的制作方法具有简单、方便及易于控制的特点。

附图说明

图1是本技术方案第一实施例提供的气体检测装置的示意图。

图2是图1沿II-II线的剖面示意图。

图3是图1沿III-III线的剖面示意图。

图4是气体检测装置的扫描电子显微镜的剖面示意图。

图5是本技术方案第二实施例提供的气体检测装置的示意图。

图6是本技术方案提供的气体检测系统的示意图。

具体实施方式

下面结合附图及多个实施例对本技术方案提供的气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法作进一步说明。

请一并参阅图1及图2，气体检测装置100包括石英板110、第一电极121、第二电极122、第一活化层130、吸附层140及第二活化层150。