[发明专利]气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法

权利要求书

1.一种气体检测装置，其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面，所述第一电极形成于第一表面，所述第二电极形成于第二表面，所述第一活化层形成于第一电极表面，所述第一活化层的材料为氧化铜，用于活化吸附层，所述吸附层形成于第一活化层表面，所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成，用于吸附待检测气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而获得待检测气体的浓度。

2.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述吸附层还形成于第二电极的表面。

3.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述吸附层的表面还形成有第二活化层，所述第二活化层用于增强吸附层的吸附活性。

4.如权利要求3所述的气体检测装置，其特征在于，所述第二活化层的材料为氧化铜。

5.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述吸附层的厚度为100纳米至2微米。

6.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述吸附层的厚度为400纳米至600纳米。

7.如权利要求1所述的气体检测装置，其特征在于，所述第一活化层的厚度为10纳米至20纳米。

8.一种气体检测系统包括：

如权利要求1至7任一项所述的气体检测装置，其用于吸附气体，以使气体检测装置的质量发生变化，从而使其振荡频率发生变化；

检测室，其用于放置气体检测装置，并用于通入待检测气体，以使得气体检测装置吸附待检测气体；

频率检测装置，其连接于所述气体检测装置的第一电极与第二电极，用于检测气体检测装置的振荡频率，以根据气体检测装置的振荡频率的变化获得待检测气体的浓度。

9.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述检测室内还设置有加热板，用于加热液体以产生待检测气体。

10.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述检测室的外围设置有保温层，用于防止待检测气体冷凝。

11.如权利要求8所述的气体检测系统，其特征在于，所述气体检测系统还包括与频率检测装置相连接的处理器，用于根据气体检测装置的振荡频率的变化计算获得待检测气体的浓度。

12.一种气体检测装置的制作方法，包括：

提供一个石英板，所述石英板具有相对的第一表面和第二表面；

在所述石英板的第一表面形成第一电极，在石英板的第二表面第二电极；

在第一电极的表面通过化学气相沉积法形成第一活化层，所述第一活化层的材料为氧化铜；

在第一活化层的表面通过金属有机化学气相沉积形成二氧化铱纳米棒层；

高温还原所述二氧化铱纳米棒层中的部分二氧化铱，形成由铱二氧化铱纳米棒形成的吸附层，从而得到气体检测装置。

13.如权利要求12所述的气体检测装置的制作方法，其特征在于，在进行高温还原二氧化铱纳米棒层中的部分二氧化铱之前，还包括在二氧化铱纳米棒层表面形成第二活化层的步骤。