[发明专利]线沉积源无效
| 申请号： | 200910262492.0 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101845612A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | C·康罗伊;S·W·普里迪;J·A·达尔斯特伦;R·布雷斯纳汉;D·W·戈特霍德;J·帕特林 | 申请（专利权）人： | 维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/28;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 寇英杰 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种线沉积源，包括多个坩锅，每个坩锅容纳沉积材料。热屏蔽件提供用于所述多个坩锅中的至少一个的至少局部热隔离。本体包括多个传导槽道。所述多个传导槽道中的每一个的输入与所述多个坩锅中的相应一个的输出连接。加热器升高该多个坩锅的温度，这样，每个坩锅将沉积材料蒸发至该多个传导槽道中。多个喷嘴中的每一个的输入与所述多个传导槽道中的一个的输出连接。蒸发的沉积材料从坩锅通过传导槽道被输送给喷嘴，在喷嘴处，蒸发的沉积材料从该多个喷嘴排出，以形成沉积流。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
一种沉积源，包括：a)多个坩锅，用于容纳沉积材料；b)本体，该本体包括多个传导槽道，所述多个传导槽道中的每一个的输入与所述多个坩锅中的相应一个的输出连接；c)加热器，该加热器定位成与所述多个坩锅和所述多个传导槽道热连通，该加热器升高该多个坩锅的温度，这样，所述多个坩锅中的每一个将沉积材料蒸发进入该多个传导槽道中；d)热屏蔽件，该热屏蔽件提供用于所述多个坩锅中的至少一个的至少局部热隔离；以及e)多个喷嘴，所述多个喷嘴中的每一个的输入与所述多个传导槽道中的一个的输出连接，蒸发的沉积材料从该多个坩锅通过该多个传导槽道被输送给该多个喷嘴，在喷嘴处，蒸发的沉积材料从该多个喷嘴排出，以形成沉积流。
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