[发明专利]可控制备碳纳米管原子力显微镜针尖的方法无效
| 申请号： | 200910260047.0 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102109535A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京五泽坤科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;C23C16/26;C23C16/513;C23C16/455;C25D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种采用单根碳纳米管制备原子力显微镜针尖的工艺，包括以下步骤：在所述的显微镜针尖上采用电化学还原的方法沉积一个金属纳米微粒，将沉积了金属纳米微粒的显微镜针尖向上，采用等离子体增强化学气相沉积法定点、定向生长显微镜针尖上的单根碳纳米管。本发明得到的组装有单根碳纳米管的原子力显微镜针尖可以用于原子力显微镜成像。 | ||
| 搜索关键词： | 可控 制备 纳米 原子 显微镜 针尖 方法 | ||
【主权项】：
一种在原子力显微镜针尖上组装单根碳纳米管的工艺，其特征包括以下步骤：在所述的显微镜针尖上沉积一个10‑50nm的金属纳米微粒(铁、钴或镍)，将沉积有金属纳米微粒的显微镜针尖向上置于等离子增强化学气相反应室(PECVD)中，采用PECVD法生长单根碳纳米管。
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