[发明专利]在碲锌鎘晶体上制备金电极的方法

摘要

本发明公开了一种在碲锌鎘晶体上制备金电极的方法，用于在在碲锌鎘晶体上制备金电极以及引出线，所述方法首先选择电阻大于109Ω的高阻CZT作为电极的CZT基底；然后溅射一层Au膜；蒸镀一层Au膜；然后立即放入快速气氛退火炉中，在气氛为氮气的环境下进行快速退火，退火的参数：温度150～250℃，时间5～10分钟，完成Au电极制备。由于采用先离子溅射，再蒸镀镀金，最后退火的方法制备金电极，既发挥了溅射镀金时Au与CZT基底结合力大的优点，又发挥了蒸镀金时Au膜致密性和均匀性好且与外引线结合力强的优势，有效防止电极脱落和电极不稳定发生。得到了结合性良好，欧姆特性良好的电极，实现了电极与外引线的有效连接。

主权项

一种在碲锌鎘晶体上制备金电极的方法，其特征在于包括下述步骤：(a)选择电阻大于109Ω的高阻CZT，进行线切割，机械抛光，超声清洗15～20min后，用氮气吹干，作为电极的CZT基底；(b)将经过步骤(a)处理的CZT单晶片放入离子溅射仪中，在真空度为4～6Pa，电流恒定在8～11A的环境下溅射一层Au膜；(c)将经过步骤(b)的CZT单晶片从溅射仪中取出后立即放人蒸发蒸镀金的设备中，在量级为10-4Pa工作气压下蒸镀一层Au膜；(d)将经过步骤(c)的CZT单晶片从蒸镀机中取出立即放入快速气氛退火炉中，在气氛为氮气的环境下进行快速退火，退火的参数：温度150～250℃，时间5～10分钟，完成Au电极制备。