[发明专利]负载锁定装置和真空处理系统

摘要

本发明提供一种负载锁定装置和真空处理系统。在具有多段的真空预备室的负载锁定装置中，防止由隔壁的变形造成的颗粒的发生。负载锁定装置(5)具有通过隔壁(47)隔开的上下2段的真空预备室(27a、27b)。在隔壁(47)形成有上下贯通的一对缝隙(101、102)。缝隙(101)的内部为空洞，缝隙(101)的上下的开口部分由弹性板(61)密封。在缝隙(101)内配备有抵抗对缝隙(101)的宽度方向施加的压缩力的加强部件(71)。在隔壁(47)设置有分别从缝隙(101、102)的内部到达密封面(47a、47b)的压力调整孔(50)。

主权项

一种负载锁定装置，是在真空条件下对基板进行处理的真空处理系统内，将使基板待机并且能够在大气压状态和真空状态之间进行切换的真空预备室通过隔壁隔开而配置成多个的负载锁定装置，其特征在于，所述真空预备室包括：对基板进行搬入搬出用的开口部；和以能够开闭的方式对所述开口部进行密封的门阀装置，所述隔壁具有在与所述门阀装置之间隔着密封部件保持气密性的密封面，在所述隔壁的中央部分和所述密封面之间具备在由于相邻的真空预备室之间的压力差而对所述隔壁施加了应力时对从所述隔壁的中央部向所述密封面传递的所述应力进行缓和的机构。