[发明专利]旋转式硅片承片台及利用其进行硅片精对准的方法有效
| 申请号： | 200910247415.8 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102109768A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 黄剑飞;齐芊枫;齐宁宁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋转式硅片承片台，包括：吸附硅片的吸盘，工作台，及旋转电机，其中所述旋转电机具有安装在所述工作台上的旋转电机定子，安装在所述吸盘中间的旋转电机动子，及控制旋转电机转动的控制器，所述控制器设定后能够控制所述旋转电机动子转动，从而驱动所述吸盘旋转设定的角度。本发明主要是利用所述旋转电机连接所述吸盘，通过电机的旋转可以直接在承片台上进行硅片正负90°的旋转，使硅片在对准过程中无须利用硅片机械手对其拿起并进行旋转，工作效率高、精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 硅片 承片台 利用 进行 对准 方法 | ||
【主权项】：
一种旋转式硅片承片台，其特征在于，包括：吸附硅片的吸盘，工作台，及旋转电机，其中所述旋转电机具有安装在所述工作台上的旋转电机定子，安装在所述吸盘中间的旋转电机动子，及控制旋转电机转动的控制器，所述控制器设定后能够控制所述旋转电机动子转动，从而驱动所述吸盘旋转设定的角度。
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